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프로그램 가스 처리상태 시작일시 종료일시
CCP Cl2 계산 대기중 2022-03-19 오전 02:32:49 2022-03-19 오전 02:32:49
TCP SiH4 계산 대기중 2022-02-25 오후 04:25:46 2022-02-25 오후 04:25:46
TCP SiH4 계산 대기중 2022-02-04 오후 12:23:53 2022-02-04 오후 12:23:53
TCP SiH4 계산 대기중 2021-08-03 오후 01:33:35 2021-08-03 오후 01:33:35
Etch/Deposition Ar 계산 대기중 2021-02-01 오전 11:57:17 2021-02-01 오전 11:57:17
Etch/Deposition Ar 계산 대기중 2021-01-12 오전 04:34:05 2021-01-12 오전 04:34:05
ICP SiH4 계산 대기중 2021-01-12 오전 04:11:40 2021-01-12 오전 04:11:40
Etch/Deposition Cl2 계산 대기중 2020-12-12 오후 11:05:41 2020-12-12 오후 11:05:41
ICP SiH4 계산 대기중 2020-11-27 오전 09:31:24 2020-11-27 오전 09:31:24
ICP SiH4 계산 대기중 2020-11-11 오후 03:20:54 2020-11-11 오후 03:20:54
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