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프로그램 가스 처리상태 시작일시 종료일시
Etch/Deposition Cl2 계산 대기중 2020-03-13 오후 05:31:16 2020-03-13 오후 05:31:16
Etch/Deposition Ar 계산 대기중 2020-03-13 오후 05:26:57 2020-03-13 오후 05:26:57
Etch/Deposition Cl2 계산 대기중 2019-12-13 오전 11:24:09 2019-12-13 오전 11:24:09
Etch/Deposition Ar 계산 대기중 2019-11-25 오전 07:21:30 2019-11-25 오전 07:21:30
TCP SiH4 계산 대기중 2019-11-19 오후 09:42:16 2019-11-19 오후 09:42:16
TCP SiH4 계산 대기중 2019-11-19 오후 09:42:08 2019-11-19 오후 09:42:08
TCP SiH4 계산 대기중 2019-11-19 오후 09:42:01 2019-11-19 오후 09:42:01
ICP SiH4 계산 대기중 2019-04-10 오전 09:06:45 2019-04-10 오전 09:06:45
TCP SiH4 계산 대기중 2019-04-10 오전 09:05:20 2019-04-10 오전 09:05:20
Etch/Deposition Ar 계산 대기중 2019-01-21 오후 04:08:13 2019-01-21 오후 04:08:13
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