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프로그램 가스 처리상태 시작일시 종료일시
Etch/Deposition Ar 계산 대기중 2021-02-01 오전 11:57:17 2021-02-01 오전 11:57:17
Etch/Deposition Ar 계산 대기중 2021-01-12 오전 04:34:05 2021-01-12 오전 04:34:05
ICP SiH4 계산 대기중 2021-01-12 오전 04:11:40 2021-01-12 오전 04:11:40
Etch/Deposition Cl2 계산 대기중 2020-12-12 오후 11:05:41 2020-12-12 오후 11:05:41
ICP SiH4 계산 대기중 2020-11-27 오전 09:31:24 2020-11-27 오전 09:31:24
ICP SiH4 계산 대기중 2020-11-11 오후 03:20:54 2020-11-11 오후 03:20:54
CCP Cl2 계산 대기중 2020-09-27 오후 10:00:51 2020-09-27 오후 10:00:51
TCP SiH4 계산 대기중 2020-09-12 오후 08:32:07 2020-09-12 오후 08:32:07
TCP SiH4 계산 대기중 2020-08-11 오후 12:06:16 2020-08-11 오후 12:06:16
Etch/Deposition Cl2 계산 대기중 2020-03-13 오후 05:31:16 2020-03-13 오후 05:31:16
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