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Program : Gas :
 
 [Selection]
TCP ICP
No.1      No.2      No.3
Heating ON Heating OFF
 
 [Calculation]
fixed prs(m Torr)  
initial_power(W)  
last_power(W)  
power_step(W)  
fixed power  
initial_pressure  
last_pressure  
pressure_step  
 
 [Fixed Condition]
Q(sccm)  
frequency  
 
 [Chamber Size]
R(cm)  
Lp(cm)  
Ls(cm)  
JGRID(#)  
KGRID(#)  
Mode_M(#)  
Mode_N(#)  
 
 [Option]
dt  
limit_error  
tg(k)  
 
 # of coil :
num rc zc
1
2
 
 ant_width  :
 ant_height :
  footer