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  • 플라즈마 물성정보 DB소개
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플라즈마 물성데이터의 필요성(사례2)

플라즈마 물성DB의 현황 및 필요성

  • 국내 플라즈마 물성 정보의 부재
    • 삼성과 같은 대기업은 미국의 SEMATECH에 가입하여 비싼 로열티를 지급하며 플라즈마 물성정보를 사용하고 있음
    • 국내의 반도체 제조 장비 관련기업으로서 중소기업이 대부분을 차지하나 이들은 대기업의 정보 독점과 해외의 고가의 정보이용료 때문에 정보 이용에 매우 어려운 상황임
    • 국내 200여 개의 중/소 반도체 제조 장비 제작업체 중 매출 1,000억원 이상인 업체는 한국 DNS, 케이씨텍, 주성엔지니어링(식각 및 증착장비), 피에스케이(Asher)등 5-6개사에 불과한 실정임
    • 국산 중/소 업체는 이와 같은 영세성 때문에 세계 주요 반도체장비업체 30대 기업에 한 곳도 포함되지 못하는 실정임
  • 국내 반도체 장비 구매 현황
한국반도체산업협회,반도체장비시장 보고서(2005년)도표

카피라이트

Kisti 한국과학기술정보연구원 대전,서울주소 및 전화번호