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• 플라즈마 물성데이터
• 물성데이터 필요성
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• 사업목표

플라즈마 물성데이터의 필요성(사례1)

• 물성데이터 정의
  • 1994년 봄 : 미국 NRC(National Research Council)의 의뢰 하에 데이터베이스의 중요성에 대한 연구를 착수함
  • 1996년 "Database Needs for Modeling and Simulation of Plasma Processing"발간
  • 현재의 플라즈마 시뮬레이션,모델링 그리고 플라즈마 물질 연구에 필요한 데이터베이스 상황파악
  • 향후 발전 방향 모색

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• • Greater and more systematic efforts should be made by Federal and industrial agencies to address database needs with emphasis on plasma surface interactions
  • Target chemistries should have a high priority in database development because the application are currently important and will continue to be important over the next5-10 years