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  • 플라즈마 물성정보 DB소개
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플라즈마 물성데이터

  • 물성데이터 정의
    • 플라즈마 내에서 일어나는 입자(전자,원자,이온 분자)등의 충돌에 따른 데이터
    • 플라즈마 이해를 위한 필수 정보
    • 플라즈마 발생장치 설계 및 제어의 Key Parameter
    • 플라즈마 공정조건 확립을 위한 필수 도구
  • 물성데이터 종류
    • Gas decomposition path (ex: C2F4 -> CF2 -> CF -> F)
  • 도표이미지
    • Electron imact collision cross-section
    • Electron-Neutral : e+CF4 ? CF3 + CF2,F,...
    • Electron-Ion : e + CF2 + ? CF + F
    • - Electron beam measurement
    • - Quantum theoretical calculations
    • - Electron swarm experiment
    • Heavy particle reaction rate coefficient
    • Neutral-Neutral, Neutral-Ion, Ion-Ion
    • Swarm parameters
    • Driff Velocity, Diffusion Coefficient,Ionization coefficient, ...
    • Surface reaction
    • ...

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